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半导体车间洁净度要求

2019-07-31 11:02 来源:实验室工程  
       半导体器件生产环境要求很严,除了要求恒温恒湿外,对生产环境洁净度要求很严,按单位体积重规定的尘埃粒子数标准分成洁净度的等级。一般分为:10级、100级、1000级、10000级、100000级,国际标准IOS14644-1、国标GB50073-2013、美联邦标准中均有规定洁净室和洁净区内空气以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。您可能喜欢:半导体车间设计方案

       半导体车间洁净度要求如下图所示

半导体车间级别

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